半導体・スペシャリティガス関連機器

プロセス用特殊半導体ガスオンラインアナライザ

オンラインプロセスガスクロマトグラフ (PGC)　Eclipse は、業界で入手可能な最も高感度で高機能なオンラインアナライザーです。開発したカラムオーブン（特許所得）は、Lab品質のキャピラリーガスクロマトグラフに必要な温度制御性能をプロセスガスクロマトグラフで可能にしました。

・MSD、VUV、PDHID、TCD、および FID
・最大 8 本のキャピラリカラム搭載可能
・完全な電子圧力制御プログラミング
・昇温オーブン 2 台
・恒温オーブン 2 台

特殊半導体ガス分析装置

フッ化水素、臭化水素、塩素ガス中の不純物分析など、半導体、スペシャリティガス産業用のアプリケーションを種々提供致します。

構成：
GC-PDHIDマルチバブルシステム
適用サンプルタイプ：
高純度フッ化水素（HF）
高純度臭化水素（HBr）
高純度塩素（Cl2）

NOVAIR社ION高純度酸素ジェネレーター

NOVAIR社のION高純度酸素ジェネレーターは、酸素イオン伝導性セラミック膜を利用し、周囲の空気から高純度酸素をオンサイトで生成する装置です。
従来のPSA方式とは異なり、酸素を選択的に分離することで99.99～99.9999%の高純度を実現。
コンプレッサーを必要とせず、可動部品や消耗品が少ないため、低騒音・低振動でメンテナンス負担を抑えられます。分析・研究用途で高圧酸素ボンベの代替として期待されます。

特長：
・高純度酸素：99.99～99.9999%（最大6Nクラス）
・独自のイオン分離技術：酸素イオン伝導性セラミック膜を採用
・オンサイト生成：周囲の空気から必要な酸素を連続生成
・コンプレッサー不要：低騒音・低振動で分析室にも適した設計
・低メンテナンス：可動部品・消耗品が少なく保守負担を軽減
・ボンベ管理を削減：高純度酸素ボンベの交換・保管・発注業務を軽減可能

商品紹介

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