特殊半導体ガス分析装置
フッ化水素、臭化水素、塩素ガス中の不純物分析など、半導体、スペシャリティガス産業用のアプリケーションを種々提供致します。

構成:
GC-PDHIDマルチバブルシステム
適用サンプルタイプ:
高純度フッ化水素(HF)
高純度臭化水素(HBr)
高純度塩素(Cl2)
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