半導体・スペシャリティガス関連機器

プロセス用特殊半導体ガスオンラインアナライザ

オンライン プロセス ガス クロマトグラフ (PGC) Eclipse は、業界で入手可能な最も高感度で高機能なオンライン アナライザーです。 開発したカラムオーブン(特許所得)は、Lab品質のキャピラリー ガスクロマトグラフに必要な温度制御性能をプロセスガスクロマトグラフで可能にしました。

プロセス用特殊半導体ガスオンラインアナライザ

・MSD、VUV、PDHID、TCD、および FID
・最大 8 本のキャピラリカラム搭載可能
・完全な電子圧力制御プログラミング
・昇温オーブン 2 台
・恒温オーブン 2 台

 

特殊半導体ガス分析装置

フッ化水素、臭化水素、塩素ガス中の不純物分析など、半導体、スペシャリティガス産業用のアプリケーションを種々提供致します。

特殊半導体ガス分析装置

構成:
GC-PDHIDマルチバブルシステム
適用サンプルタイプ:
高純度フッ化水素(HF)
高純度臭化水素(HBr)
高純度塩素(Cl2)

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